K8콢

Դ̽оߣ 

֪ӰҰ˽𡸲Ʒ̳ǁҿꁶƷҰֻȥһط׼еýеѧΪطǸƷĵؽȱͺˇӣ

Ʒ̳طϻشȥһꁶȥܺͻ©Ұζŵҹ꽲ŵҪȥŻƷζ

Ʒ̳ǵƷǼ

Ʒ̳طͷһĻСէȥЩšƷĵؽֻǿܻߵȲҶڼûʲررſòȷʵطرЩĻζ

ҹϸҹǽաƷ̳Ұ˼ǸĵطվɸлĴӪָ݁ĪĹͬ꽲ǡζ

ȥ⼸

һꁶһȥ͵һΧƷ̳ÿһŵرİеϲеǸòװʵҪꡰϷ

͵͵꽲طһšݲͼǽͼϻǸƷϸñȡ衱в衱ɶϸᷢԭƷôིöЩζ͸
ͼƬ

ڶҲѧһȥֱʡʲرúʹʵʲرµIJҶƼԼϲΪطIJҶµÿЩͷŵĺò

ƷͬʱǵøԱߵʽƷ̳طпϲҲ˶ԸIJ􁶻Ὺһ䡰ʲرؾȻ

Ʒ̳ζ

ζطƷһڵǸ˹һӰϸϸƷζ˽֡֡СڲƷ̳ͷֳǽлҲǽ

ͼƬ

ʳ갵ȥ浴ȻеƷ̳˸λϲڽ䶺ŲǽāʲرЩҳָǸץ꽲ǁ

꽲飺ȥƷ̳Ҫʱź˽ʲرǷΪطꡰߵǾǰһ

ͼƬ

ܻطၶ̫ߵȿҹ꽲Ҷйһúʵځ뻨̫ͨҲҰúҪҪѧζ

лͽȥƷ̳Ʒٹҷǣ


ǩƷ̳ƷĻ

Сkbˡ

ȫݶҵгģIJ߶װЧ͵Ƶҵνƽۺ󲻹ܡΪҵҪҵʿձΪҪӻϽЩҪز֡ҵЭͬƶҵ׼ǿҵƷαջʵߵȨ

һƷ¥̳

ڶ촬ǸͶܼ͵Ĺҵ˵Ƚ촬Ļеˮƽˮ඼ǵСڵIJ˵ֹʲԽϡӡԴЩҵ˵ԼʶйͶDzɱȵǵͶƼڽҵԼ촬ȴ豸ŹҵṹҵڵͶʵ촬ҵ

Ϸʯ·С

8.3.1 Ĥ豸PECVD/LPCVDг

վͼ